한국전기화학회:학술대회논문집

The Korean Electrochemical Society (한국전기화학회)
권호 표지

Etch characteristics of PZT thin films using magnetized inductively coupled plasmas

자화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 PZT 식각특성

  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김정식 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 오경희 (국립기술품질원 신뢰성과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • Published : 1999.04.01
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