대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1998년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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- Pages.886-888
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- 1998
레이저에 의한 포토레지스트의 마스크리스 페터닝
Maskless patterning of Photoresist by laser
- 이경철 (인하대학교 전기공학과) ;
- 김재권 (인하대학교 전기공학과) ;
- 이천 (인하대학교 전기공학과) ;
- 최진호 (LG 전자(주)) ;
- 이강욱 (LG 전자(주)) ;
- 최익순 (LG 전자(주))
- Lee, Kyoung-Cheol (Dept. of Electrical Engineering, Inha Univ) ;
- Kim, Jae-Kwan (Dept. of Electrical Engineering, Inha Univ) ;
- Lee, Cheon (Dept. of Electrical Engineering, Inha Univ) ;
- Choi, Jin-Ho (LG Electronics co.) ;
- Lee, Kang-Ook (LG Electronics co.) ;
- Choi, Ik-Soon (LG Electronics co.)
- 발행 : 1998.11.28
초록
By irradiating photoresist on Si or glass with
키워드