Microstructure and Characteristics of $SnO_2$ thin film prepared by Chemical Vapor Deposition.

화학 증착법에 의해 제조된 $SnO_2$ 박막의 미세 조직과 특성

  • 이상창 (영남대학교 금속ㆍ재료공학부) ;
  • 정상현 (영남대학교 금속ㆍ재료공학부) ;
  • 김규호 (영남대학교 금속ㆍ재료공학부)
  • Published : 1998.11.01