Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.46-47
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- 1998
A study on the deposition behavior and optical properties of $TiO_2$ films by DC magnetron sputtering
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 anatase $TiO_2$ 박막의 증착거동 및 광학적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords