PE-MOCVD 법에 의해 증착된 SiC 박막의 특성

Characteristics of SiC Thin Film by PE-MOCVD

  • 박승준 (성균관대학교 신소재공학과 프라즈마응용재료연구실) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과 프라즈마응용재료연구실)
  • 발행 : 1998.11.01