Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Characteristics of SiC Thin Film by PE-MOCVD

PE-MOCVD 법에 의해 증착된 SiC 박막의 특성

  • 박승준 (성균관대학교 신소재공학과 프라즈마응용재료연구실) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과 프라즈마응용재료연구실)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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