Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

1998.05a
/
Pages.148-149
/
1998

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)

권호 표지

Characteristics of TiN films by ion beam assisted deposition

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 (RIST 계측연구팀) ;
박형국 (RIST 계측연구팀) ;
문종호 (RIST 계측연구팀) ;
정창영 (RIST 계측연구팀) ;
권오진 (성균관대학교 물리학과) ;
박종윤 (성균관대학교 물리학과)

Published : 1998.05.01

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords