Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 1998.05a
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- Pages.63-64
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- 1998
A Study on the Etch Characteristics of Pt Thin Film using Inductively Coupled Plasmas
유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords