Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study on the Etch Characteristics of Pt Thin Film using Inductively Coupled Plasmas

유도결합형 플라즈마를 이용한 백금 박막 식각 특성에 관한 연구

  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 장제욱 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실)
  • Published : 1998.05.01
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Abstract

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