한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

고속스퍼터링 공정기술 연구

Study on a high rate sputtering process

  • 김을수 (경상대학교 금속재료공학과) ;
  • 이건환 (한국기계연구원 박막기술그룹) ;
  • 권식철 (한국기계연구원 박막기술그룹)
  • 발행 : 1998.05.01
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