Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.143-143
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- 1998
A Study on Crystallization and Microstructures of Low Temperature Silicon Epitaxy
저온 Si 에피택시 박막의 결정화 거동 및 미세구조에 대한 연구
Abstract
Keywords