Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on Crystallization and Microstructures of Low Temperature Silicon Epitaxy

저온 Si 에피택시 박막의 결정화 거동 및 미세구조에 대한 연구

  • 김동현 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 최규진 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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