Effects of oxygen and nitrogen addition in the synthesis of diamond-like carbon films

DLC 합성시 산소, 수소, 및 질소 첨가의 효과

  • 황민선 (인하대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 이종무 (인하대학교 공과대학 금속공학과)
  • Published : 1998.11.01