한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

할로우 캐소드 스퍼터링을 이용한 대면적 YBCO 박막증착

Large Area YBCO Thin Film Deposition by Hollow Cathode Sputtering

  • 곽민환 (경상대학교 공과대학 전기공학과) ;
  • 서정대 (한국전자통신연구원 원천기술연구본부 무선통신기반기술연구팀) ;
  • 한석길 (한국전자통신연구원 원천기술연구본부 무선통신기반기술연구팀) ;
  • 강광용 (한국전자통신연구원 원천기술연구본부 무선통신기반기술연구팀) ;
  • 김상현 (경상대학교 공과대학 전기공학과)
  • 발행 : 1998.11.01
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