Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Crystallization characteristics of $TiO_2$ thin film deposited by LPMOCVD

LPMOCVD법으로 증착된 $TiO_2$ 박막의 결정화 특성

  • 이하용 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 고경현 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 안재환 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 박정훈 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 윤혁준 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 홍국선 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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