Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.70-70
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- 1998
The study on leakage current reduction by low temperature heat treatment in amorphous $TaO_x$ thin film capacitors fabricated on polymer substrate
폴리머 기판 위에 만들어진 비정질 $TaO_x$ 박막 커패시터의 저온 열처리에 의한 누설전류 감소에 관한 연구
Abstract
Keywords