상부 전극이 Ir계인 강유전체 캐퍼시터의 수소에 의한 열화 현상에 관한 연구

The study in regard to furious flumes phenomenon by hydrogen of ferroelectric capacitor with the top of Ir system electrode

  • 방일환 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 정성원 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1998.11.01