Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Interaction between Slurry Particles for CMP

CMP용 Slurry Particle간의 상호작용에 대한 연구

  • 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 김형균 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 문두경 (한화그룹종합연구소)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

Keywords