Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Growth of Thick $SiO_2$ film for Planar Waveguide using $O_3/HMDS$ APCVD

$O_3/HMDS$ APCVD를 이용한 후막 $SiO_2$ 성장특성연구

  • 최진경 (성균관대학교 재료공학과 광전재료 및 소자연구실) ;
  • 이우형 (성균관대학교 재료공학과 광전재료 및 소자연구실) ;
  • 유지범 (성균관대학교 재료공학과 광전재료 및 소자연구실)
  • Published : 1998.11.01
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Abstract

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