한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

In-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN 형성 공정에 관한 연구

A study on the formation of in-situ MOCVD Cu/MOCVD TiN

  • 최정환 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 박상기 (국민대학교 금속재료공학과) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1998.11.01
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