Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.05a
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- Pages.90-90
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- 1998
The Effects of Deposition Conditions of Pt Top Electrodes on Pt/PZT/Pt Capacitors
Pt 상부 전극 증착 조건이 Pt/PZT/Pt Capacitor의 전기적 특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords