한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

희석된 불산 내의 오존의 거동과 세정 효과

The behavior of ozone in dilute Hf and its cleaning efficiency

  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진우 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1998.11.01
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