한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)
- 한국재료학회 1998년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- Pages.13-13
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- 1998
다층 구조 MCM-D 기판 제조에서의 반응성 이온 식각을 이용한 비아 형성법에 관한 연구
Study on the reative ion etching for via opening in multi-layer MCM-D substrate fabrication processes
- Ko, Hyoung-Soo (Dept, of Mat. Sci, & Eng, KAIST) ;
- Paik, Kyung-Wook (Dept, of Mat. Sci, & Eng, KAIST)
- 발행 : 1998.11.01