Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1998.11a
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- Pages.11-11
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- 1998
Deposition of carbon nitride as an X-ray mask membrane material using ECR plasma CVD
새로운 X 선 마스트 기판재료로서 ECR plasma CVD를 이용한 carbon nitride 재료의 개발
Abstract
Keywords