$N_2$ pplasma와 Ar pplasma의 방출세기에 미치는 ppulsed DC 변수의 영향

  • 김종익 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 조용기 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 한전건 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 1998.02.01