RGA를 이용한 플라즈마 장치의 진공 배기 및 코팅 특성평가에 관한 연구

  • 박승준 (성균관대학교 신소재공학과 플라즈마응용재료연구실) ;
  • 이재상 (성균관대학교 신소재공학과 플라즈마응용재료연구실)
  • Published : 1998.02.01