플라즈마 이온주입 방법을 이용한 표면개질 기술의 원리,장치 및 응용

  • 한승희 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
  • 이연희 (한국과학기술연구원 특성분석센터) ;
  • 김해동 (경희대학교 화학과) ;
  • 김곤호 (한양대학교물리학과) ;
  • 조정희 (한양대학교물리학과) ;
  • 김용현 (한양대학교물리학과) ;
  • 이정혜 (한국과학기술연구원 특성분석센터)
  • 발행 : 1998.02.01