한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Structural study of a GaN layer grown on (001) GaAs by MOCVD

  • 배인태 (광주과학기술원 신소재공학과 반도체박막연구실) ;
  • 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과 반도체박막연구실) ;
  • 박용주 (KIST 반도체재료 연구실) ;
  • 김은규 (KIST반도체재료 연구실)
  • 발행 : 1998.02.01
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