HWP(Helicon Wave Plasma)CVD 법에 의해 제조된 c-BN 박막의 온도에 따른 상 변화 관찰

  • 김경보 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 전찬욱 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • 발행 : 1998.02.01