Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Tantalum Oxide Thin Film Capacitor by Reactive RF Sputtering for GaAs MMICs

  • 문재경 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부) ;
  • 양전욱 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부) ;
  • 이재진 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부) ;
  • 편광의 (한국전자통신연구원 화합물반도체 연구부)
  • Published : 1998.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords