Ion Beam Assisted Deposition 법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구

• 원정연 (충북대 물리학과) ;
• 김종호 (충북대 물리학과) ;
• 강희재 (충북대 물리학과) ;
• 백창현 (충북대 재료공학과) ;
• 박상렬 (충북대 재료공학과) ;
• 홍주화 (충북대 재료공학과) ;
• 위명용 (충북대 재료공학과)

• 발행 : 1998.02.01

• PDF