유도 결합 플라즈마에서 그리드 전압에 의한 플라즈마변수 제어에 관한 연구

• 홍정인 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 서상훈 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 배근희 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 장홍영 (한국과학기술원 물리학과) ;
• 윤남식 (한국기초과학연구소)

• 발행 : 1998.06.01