헬리콘 고밀도 플라즈마로부터 라디칼 빔의 추출 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각

  • 정석재 (성균관대학교 화학공학과) ;
  • 양호식 (성균관대학교 화학공학과) ;
  • 조성민 (성균관대학교 화학공학과)
  • Published : 1998.06.01