Si(111) 표면위에 에피택셜 Fe-실리사이드 형성에 있어서 Ti-interlayer의 역할

  • 김건호 (경상대학교 물리학과 및 기초과학연구소) ;
  • 이종덕 (경상대학교 물리학과 및 기초과학연구소) ;
  • 박원우 (경상대학교 물리학과 및 기초과학연구소) ;
  • 한상욱 (경상대학교 물리학과 및 기초과학연구소)
  • Published : 1998.06.01