한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

The effect of horizontal Kauffman source cell in the growth of GaN thin film

  • 최규석 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실) ;
  • 김경현 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실) ;
  • 김백민 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실) ;
  • 류대열 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실) ;
  • 윤종만 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실) ;
  • 김도진 (충남대학교 재료공학과 광전자 재료실)
  • 발행 : 1998.06.01
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