Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

이온빔 스퍼터링 방법을 이용하여 제작한 ZnO 박막의 물성 연구

  • 최성창 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 박용욱 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 윤석진 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 김현재 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원, 박막기술센터) ;
  • 석진우 ((주)플라즈마 테크)
  • Published : 1998.06.01
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Abstract

Keywords