Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1998.06a
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Pages.45-45
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1998

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

$Si_3N_4$ 기판 위에 PECVD법으로 형성한 tungsten nitride 박막의 형성

배성찬 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
이종현 (경북대학교 전자·전기공학부) ;
최시영 (경북대학교 전자·전기공학부)

Published : 1998.06.01

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