Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1998.07d
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- Pages.1352-1354
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- 1998
The study on characteristics and fabrications of ferroelectric $LiNbO_3$ thin films using RF sputtering
RF스퍼터링법을 이용한 강유전체 $LiNbO_3$ 박막의 제작과 특성연구
- Choi, Y.S. (School of electrical and computer engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Jung, S.M. (School of electrical and computer engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Choi, S.W. (School of electrical and computer engineering, Sungkyunkwan University) ;
- Yi, J. (School of electrical and computer engineering, Sungkyunkwan University)
- 최유신 (성균관 대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 정세민 (성균관 대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 최석원 (성균관 대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
- 이준신 (성균관 대학교 전기전자컴퓨터공학부)
- Published : 1998.07.20
Abstract
Keywords