Stress effect of Lithium manganese oxide thin film

막 응력에 따른 리튬망간산화물 박막의 특성평가

  • 문희수 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 손현철 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 성상현 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실)
  • Published : 1998.10.01