$Electrolyte/Si_3N_4/SiO_2/Si$구조의 LAPS 제작 및 pH응답특성

  • 장수원 (경북대학교 대학원 센서공학과) ;
  • 고광락 (경북대학교 센서기술연구소) ;
  • 강신원 (경북대학교 센서기술연구소)
  • Published : 1998.10.01