질소 반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 As-Deposited Fe-Hf-C-N 박막의 연자기 특성

SOFT MAGNETIC PROPERTIES OF AS-DEPOSITED Fe-Hf-C-N FILM BY $N_2$-REACTIVE RF MAGNETRON SPUTTERING

  • 발행 : 1997.05.01