Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.130-130
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- 1997
Electrical properties of $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ thin films prepared on Pt/Ti/$SiO_2$ /Si by Plasma Enhanced MOCVD techniques
Plasma Enhancd MOCVD법에 의해 Pt/Ti/$SiO_2$ /Si 위에 제조된 $Ba_{x}Sr_{1-x}TiO_3$ 박막의 전기적 특성에 관한 연구
Abstract
Keywords