한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Contact Plug 구조를 이용한 자기정렬 단결정립 PZT 박막의 특성

Characteristic of Self-Aligned Single Grain PZT Thin Films utilizing Contact Plug Structure

  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부 금속공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드