한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Buried Layer를 포함한 CMOS Retrogade Well 형성시 Threading Dislocation에 관한 연구

A Study on the Threading Dislocations in the Fabrication of CMOS Retrograde Well Including A Buried Layer

  • 장윤택 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 허태훈 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
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