Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.10a
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Pages.101-101
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Anisotropic Etching of Tungsten-nitride with inductively coupled plasma

ICP 플라즈마를 이용한 W$N_{x}$의 이방성 식각

정창영 (한양대학교 재료공학과) ;
송기창 (LG 종합기술원) ;
전영삼 (LG 종합기술원) ;
박칠근 (LG 종합기술원) ;
이돈희 (LG 종합기술원) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과한양대학교 재료공학과)

Published : 1997.10.01

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Abstract

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