Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
- /
- Pages.97-97
- /
- 1997
The effects of consolidation process of soot prepared by Flame hydrolysis Deposition on the properties of thick Si$O_{2}$ films
화염가수분해법에 의해 형성된 soot의 고밀화 공정이 후막 Si$O_{2}$ 특성에 미치는 영향
Abstract
Keywords