스핀코팅법으로 Al, Ni을 흡착시킨 PECVD 비정질 실리콘 박막의 저온결정화 거동

Low Temperature Crystallization of PECVD a-Si Films Adsorbed with Al and Ni by Spin Coating

  • 박상원 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최용우 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 안병태 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 1997.10.01