한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Microcrystalline BST 층의 적용을 통한 BST/Ru$O_{2}$박막의 누설전류특성 향상

The Improvement of Leakage Current of BST/Ru$O_{2}$ thin films by the application of Microcrystalline BST Layer

  • 이공수 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 성진용 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 마재평 (호남대학교 전자공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
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