Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.56-56
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- 1997
The study on mechanism and solubility of ozone in semiconductor cleaning solutions
반도체 세정액 내에서의 오존의 용해도 및 그 기구에 대한 연구
Abstract
Keywords