Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.51-51
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- 1997
A Study on the Structural Changes with Heat-treatment conditions of DLC film by PECVD method
PECVD법으로 증착한 다이아몬드성 카본 박막의 열처리에 따른 구조변화에 관한 연구
Abstract
Keywords